低温等离子是继固态、液态、气态之后的物质，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自 由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自 由基等活 性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发生分 解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

等离子体反应区富含高的物质，如电子、离子、自 由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较 量的物质发生反应，使污染物质在短的时间内发生分 解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
等离子废气净化器工作原理：
在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安 全物质，或使物质转变成无 毒或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能 量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得。作为环境污染处理中的一项具有强潜在优势的高，等离子体受到了相关学科界的高度关注。